提示：Local Scrubber 尾氣處理系統可按需定制。如需選型支持，請您聯系格林斯達科技。
位于半導體工廠生產設備側，用于處理半導體制程中使用或產生的危害性特殊氣體。一般作為各類工藝設備的附屬裝置設置于潔凈廠房SUB FAB區域。
可燃性氣體、水溶性氣體、毒性氣體、PFCs類
H2、CO、SiH4、PH?、CxHy、TMA、Cl2、F2、HCl、HF、HBr、NH3、BH3、B2H6、WF6
NF3、CF4、C2F6、SF6、CHF3、CH2F2、BF3、SiF4、N2O等
* 產品形式根據工況決定。
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可燃性氣體、水溶性氣體、毒性氣體、PFCs類、H2、CO、SiH4、PH?、CxHy、TMA、Cl2、F2、HCl、HF、HBr、NH3、BH3、B2H6、WF6、NF3、CF4、C2F6、SF6、CHF3、CH2F2、BF3、SiF4、N2O等
* 產品形式根據工況決定。
