提示：化學(xué)吸附塔按需定制。如需選型支持，請(qǐng)您聯(lián)系格林斯達(dá)科技。
針對(duì)于半導(dǎo)體摻雜制程工序中產(chǎn)生的砷烷、磷烷等有毒廢氣進(jìn)行高效處理，凈化效率≥99%。
砷化氫、磷化氫、硼烷等
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砷化氫、磷化氫、硼烷等
