近日，格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)提交的《一種用于含氫化物廢氣高效凈化材料的制備方法、凈化材料和應(yīng)用》發(fā)明專利喜獲國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授權(quán)！

在泛半導(dǎo)體行業(yè)中，通常將特定量的雜質(zhì)源摻入到硅晶體或其他半導(dǎo)體晶體表層，以改變半導(dǎo)體的電學(xué)特性，而雜質(zhì)源主要是磷、硼、砷等特氣，因此在該摻雜工序中，會(huì)產(chǎn)生較多砷磷烷等廢氣。砷磷烷等廢氣均為劇毒、易燃?xì)怏w，無論是對(duì)環(huán)境還是人體健康都具有較大危害。

集團(tuán)以科技為支撐，近年來，公司不斷加大科技研發(fā)投入，積極開展技術(shù)創(chuàng)新工作。這項(xiàng)專利的授權(quán)為含氫化物有毒有害氣體凈化提供了先進(jìn)、實(shí)用的工藝技術(shù)，助力格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)在有毒有害氣體高效處理技術(shù)創(chuàng)新研發(fā)方面取得突破性進(jìn)展，為公司業(yè)務(wù)橫向和眾向延伸奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

格林斯達(dá)環(huán)保集團(tuán)自2009年創(chuàng)立初期就在工業(yè)廢氣治理這個(gè)細(xì)分領(lǐng)域深耕和積累，致力于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域（半導(dǎo)體、光伏和面板）以及新能源行業(yè)廢氣治理關(guān)鍵設(shè)備與核心材料的研發(fā)、加工制造、系統(tǒng)集成及智慧運(yùn)營(yíng)管理。

公司將會(huì)進(jìn)一步加大研發(fā)投入，對(duì)現(xiàn)有廢氣處理技術(shù)和新型解決方案進(jìn)行深度研發(fā)和升級(jí)，強(qiáng)化創(chuàng)新隊(duì)伍建設(shè)，建立一支本、碩、博不同專業(yè)背景成員組成的高水平研發(fā)團(tuán)隊(duì)，加強(qiáng)研發(fā)成果輸出，以創(chuàng)新研發(fā)帶動(dòng)同行業(yè)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的應(yīng)用。目標(biāo)是將公司創(chuàng)新研發(fā)中心建設(shè)成為國(guó)際一流的泛半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、面板行業(yè)多領(lǐng)域廢氣治理的產(chǎn)業(yè)化研發(fā)基地，助力世界級(jí)智能化全生命周期廢氣處理解決方案提供商，為引領(lǐng)世界環(huán)保新時(shí)代、締造百億市值新企業(yè)做出積極貢獻(xiàn)。