近日,2022北京微電子國際研討會暨IC WORLD大會在北京市朝林松源廣場隆重召開。本次大會以“蓄勢起航,煥然一芯”為主題,匯集了國際國內的行業龍頭和企業精英,打造了一場具有“高規格,大融合,產業鏈協同創新”三大特色的行業盛會,為我國集成電路產業發展提供了廣闊的平臺。

作為一家為國內泛半導體產業提供工藝廢氣系統解決方案的領軍企業,格林斯達環保集團受邀參加,集團董事長兼總經理戴恩平先生攜公司半導體行業專家團隊出席了本次大會,與眾多半導體行業精英同臺展示,分享經驗成果、聚焦行業發展。本次展會格林斯達攜帶最新的技術及自研產品,前來與行業內外進行技術的交流探討與更新以及拓展相應業務,意在提升自身技術捕捉行業痛點,為業主提供更加全面的、穩定的、安全的、系統化的工藝廢氣解決方案及產品。

由我司自主研發的砷皖吸附劑、酸氣吸附劑、堿氣吸附劑及自主生產的不銹鋼特氟龍涂層風管在本次展會上亮相。格林斯達環保自主研發的酸氣吸附劑可以對無機酸、有機酸、酸性氧化物、鹵化物等進行高效吸附固化,吸附容量大、無二次污染物釋放;堿氣吸附劑可以對含堿、氨氣、有機胺等廢氣進行高效吸附固化,吸附容量大、無二次污染物釋放;砷烷吸附材料經過多次實驗室測試,對砷烷廢氣處理性能穩定達到99%,顯著優于國內外其他同類材料,成功完成中試規模制備,并運用到相關砷排項目中。

格林斯達環保不銹鋼特氟龍風管產線于今年4月正式啟動,9月正式量產。特氟龍風管主要適用于泛半導體行業,包括半導體集成電路、液晶面板、大硅片等行業的酸堿排工藝廢氣系統,特氟龍材質具有無毒無害、高純潔凈、抗化學腐蝕、耐高溫、耐磨損性及潤滑性、抗滲透性、阻燃性、金屬離子隔絕性等特性,因此作為優良的耐腐蝕涂層材料被廣泛應用。

會議期間,中芯國際、北京創新中心、中電四等公司嘉賓業主參觀了格林斯達環保展臺,與我司總經理戴恩平先生等人就行業發展進行了深入交流,同時也對未來的合作提出了更高的期盼。

本次大會同期舉辦專題論壇。在集成電路工廠建設專題論壇上,格林斯達環保集團專家團隊做了精彩的主題演講和技術分享。集團研發總監喻正保博士發表以《多維度廢氣處理技術助力中國芯》為主題的演講,贏得了現場嘉賓們的廣泛關注和深度探討。

喻總監通過分析國產芯片發展歷程、面臨的技術挑戰和環保壓力、國家政策激勵背景,分享了格林斯達環保圍繞泛半導體領域末端廢氣處理需求而開展的多維度技術研發工作,包括酸堿廢氣處理系統關鍵技術和裝備開發和應用、揮發性有機廢氣處理系統關鍵技術、材料和裝備開發和應用,重點介紹了格林斯達環保在有毒有害廢氣處理關鍵技術和材料方面取得的研發成果和項目應用情況,穩定性和處理效率與現有材料相比具有顯著優勢,實現關鍵材料自主化生產。
格林斯達環保始終秉承著“世界級智能化全生命周期廢氣處理解決方案提供商”的使命,已成功服務中芯國際(北京、天津、深圳、上海廠)、中芯北方、中芯南方、中芯京城、中芯紹興、北方集成電路技術創新中心、華虹半導體、燕東微電子、積塔半導體、有研半導體、長江存儲、長鑫存儲、浙江大學杭州國際科創中心、廣州芯粵能等眾多半導體知名企業。

隨“芯”而生,同“芯”發展。格林斯達環保將繼續堅定地沿著科技創新道路不斷前行,為客戶提供更多優質服務,為助力中國芯高質量發展做出應有的貢獻!
