冬日暖陽，積蓄力量！近日，格林斯達環保集團成功中標上海積塔半導體12寸集成電路芯片特色工藝生產線建設項目排氣系統包項目！本次項目中標，充分體現了客戶對格林斯達在半導體集成電路領域制程排氣系統積累的成熟服務經驗和系統交付能力的認可，有助于進一步彰顯和鞏固格林斯達在集成電路領域的市場競爭優勢。格林斯達團隊定將不負所托，以客戶為中心，全力以赴完成此項目的順利交付，并爭取在此項目的執行過程中能夠更大程度的發揮產品品質及穩定交付的優勢，致力打造標桿工程！
客戶介紹
上海積塔半導體有限公司（以下簡稱“積塔半導體”）成立于2017年，注冊資本1015231.1273萬人民幣。積塔半導體是專注于半導體集成電路芯片特色工藝的研發和生產制造基地，公司寓意為“積沙成塔、使命必達”。積塔半導體在中國（上海）自由貿易試驗區臨港新片區和徐匯區建有兩個廠區，已建和在建產能共計28萬片/月，其中６吋7萬片/月、８吋11萬片/月、12吋5萬片/月、碳化硅3萬片/月，為汽車電子、工業控制和高端消費電子領域提供微控制器、模擬電路、功率器件、傳感器等核心芯片特色工藝制造平臺和技術服務。本項目規劃二階段建設一條12英寸月產能4萬片的40納米汽車芯片生產線。
積塔半導體是國內最早從事汽車電子芯片、IGBT芯片制造企業。2021年積塔半導體晶圓產能位列國內前五、車規級電子產能國內第一、SiC晶圓代工產能國內第一。作為國內較早具備碳化硅(SiC)功率器件制造能力的企業，積塔半導體專注于半導體集成電路芯片特色工藝的研發，為汽車電子、工業控制和高端消費電子領域提供核心芯片特色工藝制造平臺和技術服務。其工藝技術平臺覆蓋JBS和MOSFET等，已建成自主知識產權的車規級650V/750V/1200V碳化硅JBS工藝平臺、650V/750V/1200V碳化硅MOSFET工藝平臺。
項目介紹
本項目為上海積塔半導體有限公司特色工藝生產線建設項目排氣系統包，一階段Phase A(0K~20K)，二階段Phase B(20k~40k)。項目地點為上海市浦東新區云水路600號，項目金額約9388萬元。排氣系統包分為五個獨立的排氣系統：氧化性酸排氣、揮發性酸排氣、外延區酸性排氣、 堿性排氣、有機排氣、砷排氣、一般熱排氣。本包執行范圍包括各系統工藝排氣的收集管路系統、屋面中央處理設備（包括酸性、堿性、有機廢氣處理設備）、排放系統、排氣系統的配電及自控系統、在線監測系統及配套的鋼結構、給排水等附屬工程。
